ToF-SIMS

Time of Flight - Secondary Ion Mass Spectrometry)

Bei der Time of Flight - Sekundärionenmassenspektrometrie wird die Oberfläche des Untersuchungsobjektes mit primären Ionen (meist Edelgas-, Gallium-  oder Wismutionen) beschossen.

Hierdurch werden aus den obersten Atomlagen der Probe Sekundärteilchen (positive und negative Ionen sowie Neutralteilchen) freigesetzt, die aus einzelnen Atomen, aber auch aus Clustern und Fragmenten bestehen können.

Die emittierten Ionen (positiv oder negativ) werden mit einem  Flugzeitmassen-spektrometer identifiziert und geben Aufschluss über die chemische Beschaffenheit der Probenoberfläche.


Besondere Vorteile:

  • Spezifisch für die obersten Atomlagen
  • Sehr gute Empfindlichkeit
  • Alle Elemente einschließlich Isotope nachweisbar
  • Aussagen zur chemischen Verbindung häufig anhand von Fingerprintspektren möglich

  • Laterale Auflösung: 0,3 µm – 10 µm
  • Informationstiefe: < 1nm
  • Tiefenauflösung: < 1nm

Anwendungsbereiche:

  • Organisches und anorganisches Probenmaterial
  • Elektrisch leitende, halbleitende und nicht leitende Materialien
  • Flüssige und feste Proben
    Flüssige Proben werden typischerweise im Spin-on-Verfahren auf entsprechende Targets aufgebracht und die nicht flüchtigen Bestandteile untersucht.
  • Für spezielle Anwendungen steht ein Kryohalter zur Verfügung, mit dem u. a. auch biologisches Material untersucht werden kann.
  • Für spezielle Anwendungen können in-situ mittels Mikrotomschnitt frische Flächen für die Untersuchung erzeugt werden (auch an Kryopräparaten).

Probenbeschaffenheit:

  • Bei der Probennahme darf die zu untersuchende Oberfläche nicht mit den Fingern berührt werden. Auch der Kontakt mit anderen Materialien sollte möglichst vermieden werden.
    Bitte, beachten Sie die Hinweise zum Versand der Proben.
  • Proben müssen UHV-kompatibel sein (für spezielle Anwendungen steht ein Kryohalter zur Verfügung, der auch die Untersuchung von Proben mit hohem Dampfdruck erlaubt)
  • Die Abmessungen fester Proben betragen idealerweise 10 mm x 10 mm bei etwa 1 mm Dicke
  • Größere Proben können vor Ort entsprechend präpariert werden. Im Einzelfall können auch deutlich größere Proben eingeschleust werden.
1

Entwicklungsbegleitende Analytik

2

Werkstoff- und Materialanalysen

3

Fehler- und Schadensfälle

4

Qualitätskontrollen

5

Oberflächen- und Grenzflächenanalysen

6

Mikrobereichsanalysen

7

Untersuchung von Beschichtungen

8

Analyse von Schichtsystemen

  • Das machen wir

    Das Verbundzentrum für Oberflächen- und Mikrobereichsanalysen (VOM) in Münster ist Ihr Ansprechpartner für die Bereiche Physik, Chemie, Medizin und Biowissenschaften.

    Wir lösen Problemstellungen aus der Forschungs- und Entwicklungsabteilung der Industrie.

     

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