EPMA/WDX

(ElectronProbeMicroAnalysis)

Das Verfahren der Mikrosondenanalyse ist eine seit vielen Jahren stetig weiterentwickelte Analysemethode, die ein vergrößertes Abbild der Oberfläche zur Orientierung liefert und durch Analyse der in der Probe entstehenden elementabhängigen charakteristischen Röntgenstrahlung eine ortsaufgelöste, quantifizierbare  Elementanalyse gestattet (Element Mapping).

Die zu untersuchende Probe wird mit einem fokussierten Elektronenstrahl hinreichender Energie (ca. 1 keV bis 30 keV) abgerastert, das dabei entstehende Sekundärelektronensignal wird registriert und synchron mit dem Ort auf der Probe auf einem Monitor dargestellt. Die dabei erziehlbaren Vergrößerungen liegen typischer Weise im Bereich von 10 fach bis 20 000 fach.

Die Registrierung der Röntgenstrahlung erfolgt mit einem einem speziellen Gitterspektrometer wellenlängendispersiv (WDX). Die Energieauflösung beträgt typisch ca 3 eV bis 30 eV.


Besondere Vorteile:

  • Bildgebendes Verfahren in Kombination
  • mit quantitativer Elementanalyse
  • hochvakuumtauglichkeit der Proben ausreichend
  • sehr gute Empfindlichkeit
  • Elemente ab  Z = 5 im Routinebetrieb nachweisbar

  • Laterale Auflösung: ca. 1 µm
  • Tiefenauflösung: ca.1 nm bis 5 µm, abhängig von Strahlspannung und Probenmaterial
  • Nachweisgrenze: ca. 10 ppm
  • Quantifizierbarkeit: +/- 5 % (Standardabweichung) bei Verwendung von Referenzproben

Anwendungsbereiche:

  • Oberflächenabbildung, Topografie
  • quantifizierbare Elementanalyse
  • hochauflösendes Elementmapping

Probenbeschaffenheit:

  • elektrisch leitende Proben
  • nichtleitende Proben müssen leitfähig bedampft werden (z.B. mit C oderPt)
  • Proben brauchen nur HV - kompatibel sein
  • glatte, ebene Probenoberfläche
1

Entwicklungsbegleitende Analytik

2

Werkstoff- und Materialanalysen

3

Fehler- und Schadensfälle

4

Qualitätskontrollen

5

Oberflächen- und Grenzflächenanalysen

6

Mikrobereichsanalysen

7

Untersuchung von Beschichtungen

8

Analyse von Schichtsystemen

  • Das machen wir

    Das Verbundzentrum für Oberflächen- und Mikrobereichsanalysen (VOM) in Münster ist Ihr Ansprechpartner für die Bereiche Physik, Chemie, Medizin und Biowissenschaften.

    Wir lösen Problemstellungen aus der Forschungs- und Entwicklungsabteilung der Industrie.

     

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