AES

(Auger Elektronen Spektroskopie)
 
Bei der Augerelektronenspektroskopie wird die zu untersuchende Probenoberfläche mit einem fokussierten Elektronenstrahl bestrahlt. Dabei werden aus energetisch tieferliegenden Niveaus Elektronen aus der Probe ausgelöst. Die so entstehenden freien Zustände in diesen Niveaus werden mit Elektronen aus darüberliegenden Nieveaus aufgefüllt. Die dabei frei werdende Energie wird auf andere Elektronen übertragen, die dann den Festkörper verlassen können. Da die Energiedifferenz dieser Niveaus elementspezifisch ist, kann die Energie der Augerelektronen zur Elementbestimmung benutzt werden. Die Intensität der Peaks ist abhängig von der Konzentration der Elemente im Festkörper, so daß auch eine quantitative Analyse ermöglicht wird.
 
Durch die geringe Reichweite der Augerelektronen im Material ist die Informationstiefe der Methode auf die oberen Monolagen begrenzt. Die laterale Auflösung hängt von der Fokussierung des primären Elektronenstrahls und der Apertur des Elektronenspektrometers ab. Bedingt durch die Oberflächenempfindlichkeit der Methode wird im UHV gearbeitet.

Durch gleichzeitigen Beschuß mit Ionen kann die zu analysierende Probenoberfläche schichtweise abgetragen werden. Somit lassen sich mit dieser Methode auch Tiefenprofile erstellen. 

Besondere Vorteile:

  • hohe Oberflächenempfindlichkeit
    0,1 Monolage
  • Bestimmung der chemischen Zusammensetzung
  • quantitative Elementanalyse

  • Laterale Auflösung: < 1nm bis 10 µm
  • Informationstiefe: ~ 1 nm
  • Tiefenauflösung: ~ 2 nm

Anwendungsbereiche:

  • Bestimmung von Oberflächenbedeckungen
  • Herstellen von Tiefenprofilen

Probenbeschaffenheit:

  • Proben müssen UHV-kompatibel sein
  • leitfähige Proben
  • Größere Proben können vor Ort entsprechend präpariert werden.
1

Entwicklungsbegleitende Analytik

2

Werkstoff- und Materialanalysen

3

Fehler- und Schadensfälle

4

Qualitätskontrollen

5

Oberflächen- und Grenzflächenanalysen

6

Mikrobereichsanalysen

7

Untersuchung von Beschichtungen

8

Analyse von Schichtsystemen

  • Das machen wir

    Das Verbundzentrum für Oberflächen- und Mikrobereichsanalysen (VOM) in Münster ist Ihr Ansprechpartner für die Bereiche Physik, Chemie, Medizin und Biowissenschaften.

    Wir lösen Problemstellungen aus der Forschungs- und Entwicklungsabteilung der Industrie.

     

    SEIT 1987 | UNABHÄNGIG | NEUTRAL | ZUVERLÄSSIG | SCHNELL